產(chǎn)品中心
Product Center門閥
優(yōu)勢特點（Advantages and Features）
通過閥體與執(zhí)行腔體相互搭配，可分別應(yīng)用于8寸及12寸裝備。
齒輪型:機(jī)械性傳動，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，使用壽命長通過肉眼或觸摸方式確認(rèn)閥門作動狀態(tài)。
VERTICAL TYPE式運(yùn)動開合
氣缸型:結(jié)構(gòu)簡化，維護(hù)方便，增加Air FailInteriock，可通過LED顯示燈確認(rèn)閥門作動狀態(tài)。
KVTS Slit Valve零部件全部國產(chǎn)化，供貨周期短，售后響應(yīng)及時，減少維修時間。
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| 齒輪型 | 氣缸型 | 垂直式開合 |
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項目 |
區(qū)分 |
齒輪型 |
氣缸型 |
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開口尺寸 （高X寬）mm
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8‘ |
32X222mm |
32X222mm |
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50X336mm |
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50X336mm |
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12‘ |
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泄漏率 (mbar ls-1) |
Valve Body |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-8 |
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Seat |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-8 |
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硬質(zhì)氧化（定制款） |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-5 |
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壓差 |
Gate |
≤ 1.2 bar |
≤ 1.2 bar |
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Open |
≤ 30 mbar |
≤ 30 mbar |
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材質(zhì) |
Valve Body |
AL6061+SUS304 |
AL6061+SUS304 |
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Plate |
AL6061 |
AL6061 |
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Actuator |
AL6061 anodised |
AL6061 anodised |
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Bellows |
AM350 |
AM350 |
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Bonnet |
AL6061 |
AL6061 |
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Sealing |
FKM/FFKM可選 |
FKM/FFKM可選 |
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操作壓力 |
0.4~0.6MPA |
0.4~0.6MPA |
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作動時間 |
0.6~1s |
0.6~1s |
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接口 |
D-SUB 9PIN |
D-SUB 9PIN |
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輸入電壓 |
24V DC |
24V DC |
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TEMP
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Body |
- |
- |
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Actuator |
- |
- |
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驅(qū)動方式 |
垂直 |
垂直 |
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KVTS KV-S0340
優(yōu)勢特點（Advantages and Features）
通過閥體與執(zhí)行腔體相互搭配，可分別應(yīng)用于8寸及12寸裝備
VERTICAL TYPE式運(yùn)動開合
氣缸型：結(jié)構(gòu)簡化，維護(hù)方便，增加Air FailInteriock，可通過LED顯示燈確認(rèn)閥門作動狀態(tài)。
KVTS Slit Valve零部件全部國產(chǎn)化，供貨周期短，售后響應(yīng)及時，減少維修時間。
通過對密封面的優(yōu)化漏率可以達(dá)到1 × 10-8 mbar，可用到PM腔。
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開口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") |
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驅(qū)動器 |
氣動 |
雙作用，帶位置指示器 |
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閥體材料 |
鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁 |
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饋通件 |
波紋管 |
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壓力范圍 |
鋁 |
1 × 10-8 mbar to 1.1 bar (絕對壓強(qiáng)) |
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硬質(zhì)陽極氧化鋁（定制） |
1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (絕對壓強(qiáng)) |
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閥板可承受壓差 |
閥門 |
1.1 bar |
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打開時 |
≤ 30 mbar |
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**維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
≥ 300萬 |
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溫度 |
閥體、閥板 |
≤ 120 °C |
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驅(qū)動器 |
≤ 80 °C |
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加熱和冷卻速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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材料 |
閥體、閥板、檢修蓋 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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波紋管端件 |
AISI 316L (1.4404) |
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波紋管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
閥板、檢修蓋 |
氟橡膠 （FFKM可選） |
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安裝位置 |
驅(qū)動器可向上或向下安裝 |
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|
脈沖電磁閥 |
24 VDC, 2.5 W (可根據(jù)要求提供其他值） |
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|
位置指示器：觸點額定值 |
電壓 |
≤ 50 V AC/DC |
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|
電流 |
≤ 0.1 A |
≤ 5 mA |
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|
連接 |
9 針 D 形超小型連接器 |
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壓縮空氣連接 |
快速連接器外徑為 6 mm |
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KVTS KV-0750
優(yōu)勢特點（Advantages）
極大減少顆粒物產(chǎn)出性
運(yùn)行時間長
運(yùn)行可靠性設(shè)計
精確的L-MOTION運(yùn)動
均勻密封壓縮
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KVTS KV-S0402
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尺寸 |
46x236mm至 50x336mm (1.81"x9.29" to 1.97" to 13.23") |
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驅(qū)動器 |
氣動 |
雙作用，帶位置指示器 |
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閥體材料 |
鋁 |
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饋通件 |
波紋管 |
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泄漏率 |
閥體 |
< 1×10-9mbar ls-1 |
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閥座 |
< 1×10-9mbar ls-1 |
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壓力范圍 |
1×10-9 mbar to 1.2 bar（絕對壓強(qiáng)） |
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壓差 |
閥板上 |
≤ 1.2 bar |
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打開時 |
≤ 30 mbar |
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**維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
≥ 300萬次 |
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溫度 |
閥體 |
≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ |
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閥板 |
≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ |
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加熱和冷卻速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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閥座/閥板溫差 |
< 40 °C |
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材料 |
閥體、閥板、檢修蓋 |
EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) |
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軸、波紋管端件 |
AISI 316L (1.4435) |
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波紋管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
閥蓋 |
氟橡膠（可選FFKM) |
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閥板 |
氟橡膠（可選FFKM) |
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安裝位置 |
驅(qū)動器可向下安裝 |
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脈沖電磁閥 |
24 VDC，2.5 W（可根據(jù)要求提供其他值） |
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位置指示器：觸點額定值 |
電壓 |
≤ 50 VDC |
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電流 |
≤ 250 mA |
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電源 |
≤ 10 W |
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連接 |
9 針 D 形超小型連接器 |
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壓縮空氣連接 |
未配備電磁閥 |
內(nèi)部螺紋 ?“ ISO/NPT |
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配備電磁閥 |
內(nèi)部螺紋 M5 |
KVTS KV-S0403參數(shù)
優(yōu)勢特點（Advantages and Features）
正常運(yùn)行時間長/性能不受限。
可在腐蝕性工藝條件下實現(xiàn)可靠運(yùn)行。
采用避免粒子生成和產(chǎn)生的L-MOTION技術(shù)。
壓桿可以使閥板壓力均勻分布
波紋管密封的軸饋通件。
免維護(hù)周期延長
平滑且低沖擊的運(yùn)動
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開口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") |
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驅(qū)動器 |
氣動 |
雙作用，帶位置指示器 |
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閥體材料 |
鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁 |
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饋通件 |
波紋管 |
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泄漏率 |
L 型運(yùn)動（見術(shù)語表） |
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壓力范圍 |
鋁 |
1 × 10-8 mbar to 1.1 bar (絕對壓強(qiáng)) |
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硬質(zhì)陽極氧化鋁（定制） |
1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (絕對壓強(qiáng)) |
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|
閥板可承受壓差 |
閥門 |
1.1 bar |
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打開時 |
≤ 30 mbar |
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**維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
≥ 300萬 |
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溫度 |
閥體、閥板 |
≤ 120 °C |
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驅(qū)動器 |
≤ 80 °C |
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加熱和冷卻速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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|
材料 |
閥體、閥板、檢修蓋 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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波紋管端件 |
AISI 316L (1.4404) |
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波紋管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
閥板、檢修蓋 |
氟橡膠 （FFKM可選） |
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安裝位置 |
驅(qū)動器可向上或向下安裝 |
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脈沖電磁閥 |
24 VDC, 2.5 W (可根據(jù)要求提供其他值） |
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|
位置指示器：觸點額定值 |
電壓 |
≤ 50 V AC/DC |
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電流 |
≤ 0.1 A |
≤ 5 mA |
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連接 |
9 針 D 形超小型連接器 |
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壓縮空氣連接 |
快速連接器外徑為 6 mm |
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KVTS KV-S0503
優(yōu)勢特點（Advantages and Features）
正常運(yùn)行時間長/性能不受限。
可在腐蝕性工藝條件下實現(xiàn)可靠運(yùn)行。
采用避免粒子生成和產(chǎn)生的L-MOTION技術(shù)。
壓桿可以使閥板壓力均勻分布
波紋管密封的軸饋通件。
免維護(hù)周期延長
平滑且低沖擊的運(yùn)動
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|
開口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" 至 3.15" x 19.69") |
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驅(qū)動器 |
氣動 |
雙作用，帶位置指示器 |
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閥體材料 |
鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁 |
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|
饋通件 |
波紋管 |
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密封技術(shù) |
L 型運(yùn)動（見術(shù)語表） |
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閥體和閥座的泄漏率 mbar ls-1 |
密封面 |
O-ring |
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FKM |
閥座 |
FFKM |
閥座 |
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閥體 |
(FKM Zalak 5100) |
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閥體 |
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壓力范圍 |
鋁金屬 (銑削/球形拋光） |
< 1 × 10-9 |
< 1 × 10-9 |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-7 |
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硬質(zhì)陽極氧化鋁(定制） |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-4 |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-4 |
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閥板可承受壓差 |
1.1 bar |
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打開時可承受壓差 |
≤ 30 mbar |
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**維護(hù)前開關(guān)次數(shù) |
≥ 300 萬（** DN 50 × 336 mm） |
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≥ 200 萬（DN 80 × 500 mm） |
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溫度 |
閥體、閥板 |
≤ 120 °C |
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驅(qū)動器 |
≤ 80 °C |
||||
|
加熱和冷卻速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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|
材料 |
閥體、閥板、檢修蓋 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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波紋管端件 |
AISI 316L (1.4435，1.4404) |
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波紋管 |
AISI 633 (AM 350) |
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|
密封 |
閥板、檢修蓋 |
氟橡膠 |
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|
安裝位置 |
驅(qū)動器可向上或向下安裝 |
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|
脈沖電磁閥 |
24 VDC, 2.5 W (可根據(jù)要求提供其他值） |
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|
位置指示器：觸點額定值 |
電壓 |
≤ 50 V AC/DC |
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|
電流 |
≤ 0.1 A，> 5 mA |
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連接 |
9 針 D 形超小型連接器 |
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|
壓縮空氣連接 |
快速連接器外徑為 6 mm |
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