隨著電子行業的飛速發展，半導體真空閥門的研究也越來越深入，現在已經廣泛應用于許多電子設備中。真空閥門是指百閥門內腔為真空狀態，通常內腔壓力低于大氣壓，用于真空管道系統的閥門，介質為高純度。其種類繁多，且在真空系統中起著重要作用，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。下面就由半導體真空閥門配件及維修廠家為大家具體介紹一下!

1、法蘭連接

這是閥門中用得比較多的連接形式。按結合面形狀又可分為以下幾種：

1)光滑式：用于壓力不高的閥門。加工比較方便

2)凹凸式：工作壓力較高，可使用中硬墊圈

3)榫槽式：可用塑性變形較大的墊圈，在腐蝕性介質中使用較廣泛，密封效果較好。

4)梯形槽式：用橢圓形金屬環作墊圈，使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門，或高溫閥門。

5)透鏡式：墊圈是透鏡形狀，用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門，或高溫閥門。

6)O形圈式：這是一種較新的法蘭連接形式，它是隨著各種橡膠o型圈的出現，而發展起來的，它在密封效果上比一般平墊圈可靠。

2、螺紋連接

這是一種簡便的連接方法，常用于小閥門。又分兩種情況：

1)直接密封：內外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏，往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充;其中聚四氟乙烯生料帶，使用日見廣泛;這種材料耐腐蝕性能很好，密封效果較好，使用和保存方便，拆卸時，可以完整地將其取下，因為它是一層無粘性的薄膜，比鉛油、線麻優越得多。

2)間接密封：螺紋旋緊的力量，傳遞給兩平面間的墊圈，讓墊圈起密封作用。

3、卡套連接

卡套連接，在我國近年才發展起來，它的連接和密封原理是，當旋緊螺母時，卡套受到壓力，使其刃部咬入管子外壁，卡套外錐面又在壓力下與接頭體內錐面密合，因而能夠可靠地防止泄漏。

這種連接形式的優點是：

1)體積小，重量輕，結構簡單，拆裝容易;

2)連接力強，使用范圍廣，可耐高壓(1000公斤/平方厘米)、高溫(650℃)和沖擊振動;

3)可以選用多種材料，適合防腐蝕;

4)加工精度要求不高;

5)便于高空安裝。

目前，卡套連接形式，已在我國某些小口徑閥門產品中采用。

4、卡箍連接

這是一種快速連接方法，它只需兩個螺栓，適用于經常拆卸的低壓閥門。

5、內自緊連接

以上各種連接形式，都是利用外力來抵消介質壓力，實現密封的。下面介紹利用介質壓力進行自緊的連接形式。它的密封圈裝在內錐體處，跟介質相向的一面成一定角度，介質壓力傳給內錐體，又傳遞給密封圈，在一定角度的錐面上，產生兩個分力，一個與閥體中心線平行向外，另一個壓向閥體內壁。后面這個分力便是自緊力。介質壓力愈大，自緊力也愈大。所以這種連接形式，適合于高壓閥門。它比法蘭連接，要節省許多材料和人力，但也需要一定的預緊力，以便在閥內壓力不高時，使用可靠。

利用自緊密封原理做成的閥門，一般是高壓閥門。閥門連接的形式還很多，例如有的不必拆除的小閥門，跟管子焊接在一起;有的非金屬閥門，采用承插式連接，等等。閥門使用者要根據具休情況具體對待。

以上就是小編為大家介紹的五種常見的真空閥門連接形式，希望能夠給大家帶來一定的幫助!真空閥門的連接方式多種多樣，分類方式也多種多樣，但是在日常生活中我們需要重點考慮其材料和用途!為了保證真空系統，小編建議大家根據設備需求挑選合適的連接方法!