應用背景(Application Background)

半導體工藝過程中，需要定期對設備腔體及真空管道進行清潔保養，必須關閉 PUMP 才可進行。由于啟動電流較大，頻繁再啟動降低PUMP 使用壽命。同時 PUMP 頻繁啟動，容易造成旋片卡死，造成不可逆轉損毀。

KVTS  MANUAL  GATE  VALVE直接安裝于PUMP 上方，預期停機保養時，可直接 關閉，將真空管道與PUMP 完全隔離，無需關閉PUMP 電源，延長使用壽命。

產品特點（Features）

●自然柔和的Open/Close動作。

●機械式傳動，內部軸承運轉平穩。

●因精巧的卡環設計，震動也無法消除Locking結構。

●可通過Indicator確認閥門位置。

產品規格（Product Specification）