產品中心
Product Center全自動插板閥
應用背景(Application Background)
在CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder 較多工藝的部門，常因PUMP 不預期停機，導致氣體回灌，腔體污染，從而導致不良品發生。同時還要對已污染腔 體，進行清潔保養，嚴重影響生產計劃，降低產能。
KVTS Auto Gate Valve通過添加PUMP nterface BD信號，實現PUMP 和Main Controller的通信，當PUMP 異常停機時，Main controller收到信號后，立即關 閉閥門，預防氣體回灌，并保持管路壓力。
產品特點(Features)
0 .2(秒）快速關閉
長時間保壓
低顆粒控制
打開/關閉循環期間的影響低
恒定的泄漏率
保護環配置
軟泵旁通閥配置
NO狀態直通式設計，有利于保護驅動器結構
隱藏式密封圈設計提供**真空性能
可靠性好
更長的提升時間
維護方便
標準款 加熱款 一體款
產品規格（Product Specification）
| 名稱 | AGV—體款 | AGV標準款 | AGV加熱款 |
閥體Valve body | AL6061 陽極氧化 | AL6061 陽極氧化 | AL6061 陽極氧化 |
法蘭Flange | SUS316 | SUS316 | SUS316 |
泄漏率Leak rate | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 |
Temperature(°C) | 常溫 | 常溫 | ≤180° |
密封圈(閥蓋，閘板)Sealing Ring | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) |
關閉/開啟時間Off/On time | <0.3 | <0.3 | <0.3 |
控制器種類Controller type | MINI控制器 MINI controller | 外接控制器 External controller | 外接控制器 External controller |
加熱功能Heating function | 無 N o n e | 有Yes | 有Yes |
